GB/T 26069-2022硅單晶退火片Annealed monocrystalline silicon wafers

本文件規定了硅單晶退火片(以下簡(jiǎn)稱(chēng)退火片)的分類(lèi)、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存、隨行文件及訂貨單內容。本文件適用于通過(guò)退火工藝在硅單晶拋光片表面形成一定寬度潔凈區的硅片,產(chǎn)品用于技術(shù)代180nm~22nm的集成電路。